Drucksensor aus Silizium-Carbid misst bei 600° C und könnte das Fliegen umweltverträglicher machen

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11. Mrz. 2022

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Er misst dort, wo es richtig heiß wird: Während übliche Sensoren bei einer Umgebungstemperatur von 300° C den elektronischen Geist aufgeben, entwickeln Forschende des Fraunhofer IZM einen zuverlässigen Sensor, der auch bei doppelt so hohen Temperaturen sicher arbeitet. Mittels präziser Ätzvorgänge machten sie Silizium-Carbid für den Aufbau eines robusten Sensors nutzbar. Durch die Druckmessungen in extrem rauen Umgebungen könnten beispielsweise Verbrennungsprozesse in Flugzeugturbinen kontrolliert und damit der Kerosinverbrauch reduziert werden.

Forschende des Fraunhofer IZM im Norden Berlins haben es sich zur Aufgabe gemacht, einen Hochtemperatur-Sensor zu entwickeln und aufzubauen, der diesen Anforderungen entspricht: Dafür nutzen sie Silizium-Carbid (SiC). Das Material stellt für den Aufbau von Drucksensoren vor allem hinsichtlich der Robustheit einen technologischen Durchbruch dar. Die Nutzung klassischer Silizium-Sensoren ist für Anwendungen dieser Art unvorstellbar, denn diese geraten schon bei 150° C an ihre Belastungsgrenze. Sensoren, die auf der sogenannten SOI-Technologie (Silicon on Insulator) basieren, schneiden besser ab, jedoch beginnt auch hier bei Temperaturen über 400° C in Kombination mit mechanischer Belastung eine plastische Deformation, was die Messgenauigkeit ungünstig beeinflusst.

Vollständige Pressemitteilung vom Fraunhofer IZM