Neuer Waferhandling-Robot mit enormer Tragfähigkeit und Reichweite wird auf der SEMICON EUROPA 2017 vorgestellt

Vertical Wafer Handling Robot © Adenso

Pressemitteilung Adenso 15. November 2017

Dresdner Ingenieure entwickeln einen neuen Waferhandling-Roboter, der durch
höchste Tragfähigkeit und enorme Reichweite in Vakuum-Clusteranlagen überzeugt.

Der Oberbürgermeister der sächsischen Landeshauptstadt Dresden, Dirk Hilbert, besuchte gleich am
ersten Tag der diesjährigen SemiconEU/Productronica den Gemeinschaftsstand des SiliconSaxony und
erkundigte sich über die Innovationskraft sächsischer Unternehmen – konkret ließ er sich am Stand von
Adenso den weltweit ersten Roboter für das VERTIKALE Handling von Substraten im Vakuum erläutern,
welcher zusätzlich durch enorme Reichweiten und höchste Tragfähigkeiten überzeugt.

Das Handling großformatiger Substrate im Hochvakuum war bisher durch kleine Reichweiten und durch
große Aufstellflächen wenig effizient. Die Ingenieure der Dresdner Adenso stellen jetzt einen vollkommen
neuen Handling-Roboter vor.

Durch seine platzsparende Kinematik übertrifft er die bisherigen Reichweiten der Konkurrenzprodukte um
mehr als das Dreifache ohne dabei an Tragfähigkeit einzubüßen. Im Gegensatz zu den etablierten
Schwenkarm-Systemen spart der neue Roboter an der benötigten Aufstellfläche ein, wodurch die
Abmessungen der Prozesskammern vergrößert oder sogar mehrere Prozesskammern hintereinander
angeordnet werden können.

Der Roboter wird in den Ausführungen WHR LARGE, WHR EXTRA LARGE und WHR ULTRA LARGE produziert
und kann flexibel im Reinraum, im Hochvakuum und in Glovebox-Systemen mit Schutzgasumgebung
eingesetzt werden. Der WHR Wafer Handling Robot basiert auf einer platzsparenden Bauweise, welche für
hohe Tragfähigkeiten besonders robust ausgelegt ist. In Clusteranlagen können deutlich kleinere
Schleusenventile eingesetzt werden, was die Kosteneffizienz des gesamten Systems deutlich verbessert.

„Die Wafer-Substrate werden immer größer und somit schwieriger zu handhaben. Dadurch werden
Tragfähigkeit, Reichweite und Effizienz des eingesetzten Handlingsystems immer wichtiger“, erklärt Uwe
Beier, Geschäftsführer und Leiter des Programmbereichs Clustersysteme der Adenso. „Die Verwendung von
kleineren Schleusenventilen bei gleicher Funktionalität bedeutet damit direkt eine deutliche
Kosteneinsparung – und das geringere Volumen eine gesteigerte Effizienz“, so Beier weiter.

Im Rahmen der SEMICON EUROPA 2017, welche parallel zur Productronica vom 14. – 17. November in
München stattfindet, präsentieren Ingenieure der Adenso ihre Roboter live auf dem Gemeinschaftsstand
des Silicon Saxony: Booth B1-416.

Kontakt
Adenso GmbH
Zur Wetterwarte 27
01099 Dresden
www.waferhandling.solutions
Tel: +49 351 79 59 79 7-0
Fax: +49 351 79 59 79 7-70

Ansprechpartner
Uwe Beier, Geschäftsführer Adenso
Tel: +49 351 79 59 79 7-0
info@adenso.de

Veröffentlicht am

16. Nov. 2017

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