Neuer Waferhandling-Robot mit enormer Tragfähigkeit und Reichweite wird auf der SEMICON EUROPA 2017 vorgestellt

Pressemitteilung Adenso 15. November 2017

Dresdner Ingenieure entwickeln einen neuen Waferhandling-Roboter, der durch höchste Tragfähigkeit und enorme Reichweite in Vakuum-Clusteranlagen überzeugt.

Der Oberbürgermeister der sächsischen Landeshauptstadt Dresden, Dirk Hilbert, besuchte gleich am ersten Tag der diesjährigen SemiconEU/Productronica den Gemeinschaftsstand des SiliconSaxony und erkundigte sich über die Innovationskraft sächsischer Unternehmen – konkret ließ er sich am Stand von Adenso den weltweit ersten Roboter für das VERTIKALE Handling von Substraten im Vakuum erläutern, welcher zusätzlich durch enorme Reichweiten und höchste Tragfähigkeiten überzeugt. Das Handling großformatiger Substrate im Hochvakuum war bisher durch kleine Reichweiten und durch große Aufstellflächen wenig effizient. Die Ingenieure der Dresdner Adenso stellen jetzt einen vollkommen neuen Handling-Roboter vor.

Durch seine platzsparende Kinematik übertrifft er die bisherigen Reichweiten der Konkurrenzprodukte um mehr als das Dreifache ohne dabei an Tragfähigkeit einzubüßen. Im Gegensatz zu den etablierten Schwenkarm-Systemen spart der neue Roboter an der benötigten Aufstellfläche ein, wodurch die Abmessungen der Prozesskammern vergrößert oder sogar mehrere Prozesskammern hintereinander angeordnet werden können.

Der Roboter wird in den Ausführungen WHR LARGE, WHR EXTRA LARGE und WHR ULTRA LARGE produziert und kann flexibel im Reinraum, im Hochvakuum und in Glovebox-Systemen mit Schutzgasumgebung eingesetzt werden. Der WHR Wafer Handling Robot basiert auf einer platzsparenden Bauweise, welche für hohe Tragfähigkeiten besonders robust ausgelegt ist. In Clusteranlagen können deutlich kleinere Schleusenventile eingesetzt werden, was die Kosteneffizienz des gesamten Systems deutlich verbessert.

„Die Wafer-Substrate werden immer größer und somit schwieriger zu handhaben. Dadurch werden Tragfähigkeit, Reichweite und Effizienz des eingesetzten Handlingsystems immer wichtiger“, erklärt Uwe Beier, Geschäftsführer und Leiter des Programmbereichs Clustersysteme der Adenso. „Die Verwendung von kleineren Schleusenventilen bei gleicher Funktionalität bedeutet damit direkt eine deutliche Kosteneinsparung – und das geringere Volumen eine gesteigerte Effizienz“, so Beier weiter.

Im Rahmen der SEMICON EUROPA 2017, welche parallel zur Productronica vom 14. – 17. November in München stattfindet, präsentieren Ingenieure der Adenso ihre Roboter live auf dem Gemeinschaftsstand des Silicon Saxony: Booth B1-416.

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