Flash Lamp Annealing

Energy-effective process for efficient annealing of large-area substrates

Zur gezielten Optimierung von Materialeigenschaften dünner Schichten wird in der Dünnschichttechnologie häufig auf Wärmebehandlungen – sog. Temperprozesse – zurückgegriffen. In Ofen-Temperprozessen werden die Substrate gänzlich aufgeheizt und müssen nach der Behandlung langsam wieder abkühlen. Dies ist zeit- und energieintensiv und kann damit problematisch für die Behandlung großer Flächen werden. Zur Lösung dieser Problematik bietet sich das Flash Lamp Annealing (Blitzlampentemperung / FLA) an. In einer Zusammenarbeit der ROVAK GmbH mit dem Fraunhofer FEP wird diese Technologie nun innerhalb des vom Sächsischen Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr geförderten Projektes InnoFlash (Projektnummer 100349243/3698) für großflächige Anwendungen untersucht und weiterentwickelt.
Die Ergebnisse des Projektes und das FLA-System der Firma ROVAK werden auf der ICCG13, vom 23. bis 26. März 2020, in Braunschweig, Stand-Nr. C1 präsentiert. Darüber hinaus präsentieren wir am Stand folgende Themen und Exponate:

• Flexibles Glas, behandelt mit FLA
• Beschichtungstechnologien für flexibles Glas
• Scheinwerfer aus dem Projekt „RadarGlass“ mit Beschichtungstechnologie für die unauffällige Integration von Radarsensoren in Frontscheinwerfer
• Beschichtungstechnologien für die Restauration historischer Spiegel

Mehr zu dieser Technologie erfahren Sie in unserer aktuellen Pressemitteilung.